光罩(英文:Reticle, Mask),在製作IC的過程中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖型,為將圖型複製於晶圓上,必須透過光罩作用的原理,類似於沖洗照片時,利用底片 ...
論文摘要灰階光罩有許多不同的光罩製作方式,因為微影製程簡單,近年來備受矚目,有半階光罩、HEBS玻璃灰階光罩、雷射直寫(Laser Direct Write)玻璃灰階光罩。 ; 2006 · 英文.
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